カスケード・マイクロテック/Cascade Microtech（現FormFacto）
MPS150 ウェハー用顕微鏡
メーカーカタログURL(外部サイト)：https://x.gd/JQuFw
S/N:1716173
販売価格：X,XXX円(税抜) /台 現在準備中
運送費：ジットボックスチャーター便
（送料は納品場所ご確認後の回答となります）
保証：納品後 2週間 (消耗品・劣化は対象外)
納期：受注後2～3日
付属品 / 構成：
1.プローバー本体: カスケード・マイクロテック MPS150
2.マイクロポジショナ（ステージ装置）:
DPP210 ×4個（ S/N:IM41518 / IM38382 / IM41526 / IM38379）
3.顕微鏡システム: Motic製 顕微鏡ヘッド（型番なし）
4.制御装置: MSA FACTORY 制御装置
5真空システム: ULVAC DAP-15 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ（S/N: 1100853）
6ソフトウェア / メモリ:
・Motic Images Plus 3.0（CD-ROM）
・ViewSonic 液晶ディスプレイ用ガイド＆ソフトウェア（CD-ROM）
・SanDisk SDカード（16GB）
7その他付属品: 工具キット、円形ステージ（サブチャック等）
各種電源・信号用アダプタ、ケーブル類多数
仕様：
・対応ウェハサイズ: 最大 6インチ（150 mm）対応
・電気的特性評価: DC、CV、および高周波（RF）測定に対応
・チャック機構: 真空吸着式（ウェハをガッチリと固定）
特徴：半導体デバイスや高周波コンポーネントの研究開発において、世界中で広く信頼されている6インチ手動プローブステーションです。
本構成は、微細な電極への多ピンコンタクトを可能にする高精度ポジショナ「DPP210」を計4台搭載し、クリーンな環境を保てるアルバック製ドライ真空ポンプ（DAP-15）やMotic製顕微鏡システムがすべて揃った極めて希少なフルセットです。