キヤノンアネルバ
TS75-D1-002 ターボ分子ポンプとダイヤフラムポンプ 排気ユニット
https://files.yamato-net.co.jp/support/catalog/p0725_t-station75d.pdf
販売価格：510,000円(税抜)
付属品：標準付属品
仕様：
https://www.seiwa-sangyou.com/wordpress/wp-content/uploads/2016/04/Edwards-TMP_unit.pdf
・AC100V
・排気速度 42L/sec
・背圧ポンプ排気速度 20L/min（50Hz）
・到達圧力 5.0×10(-6)Pa
・重量 17kg