ULVAC / アルバック機工

VPT060／ターボ分子ポンプ（60L/sec）＋ドライ真空ポンプ
https://ulvac-kiko.com/product.php?action=detail&category=1&ID=VPT-060

販売価格：398,000円(税抜)
付属品：標準付属品

仕様：
・AC100V
・到達圧力　10-5 Pa
・メインポンプ　ターボ分子ポンプ（空冷）60Ｌ/sec
・補助ポンプ　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　20 L/min
・吸気口　オプション：KF-40
・質量　17kg
・最大寸法　（W幅×D奥行き×H高さ）340mm(W)×340mm(D)×355mm(H)