ULVAC / アルバック機工
VPT060/ターボ分子ポンプ(60L/sec)+ドライ真空ポンプ
https://ulvac-kiko.com/product.php?action=detail&category=1&ID=VPT-060
販売価格:398,000円(税抜)
付属品:標準付属品
仕様:
・AC100V
・到達圧力 10-5 Pa
・メインポンプ ターボ分子ポンプ(空冷)60L/sec
・補助ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 20 L/min
・吸気口 オプション:KF-40
・質量 17kg
・最大寸法 (W幅×D奥行き×H高さ)340mm(W)×340mm(D)×355mm(H)