ULVAC / アルバック機工
VPT060／ターボ分子ポンプ（60L/sec）＋ドライ真空ポンプ
https://ulvac-kiko.com/product.php?action=detail&category=1&ID=VPT-060
販売価格：510,000円(税抜)
オプション：ISO63⇒KF40変換配管,ベントバルブ
付属品：標準付属品
仕様：
・AC100V
・到達圧力 10-5 Pa
・メインポンプ ターボ分子ポンプ（空冷）60Ｌ/sec
・補助ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 20 L/min
・吸気口 オプション：KF-40
・質量 17kg
・最大寸法 （W幅×D奥行き×H高さ）340mm(W)×340mm(D)×355mm(H)
