キーエンス
VE-8800 （SEM）3Dリアルサーフェスビュー 電子 顕微鏡 キーエンス、15～100,000倍
販売価格：1,480,000円（税抜）
構成：
※制御PC、コンソール、ロータリーポンプ、取扱説明書
※試料台、試料ホルダは互換品を1セット付属
（計測、3D計測インストール済PC（ドングル付）CDは未付属）
※観察アプリケーションソフトCD、計測アプリケーションソフトCD、
オプションCCDカメラは未付属
※真空引き確認、ステージ動作、SEM像確認、計測機能済み、3D計測は未確認
仕様：
・倍率 ： 15～100,000倍（条件により異なる）
・観察範囲 ： 9(H)×7(V)mm～1.3(H)×1(V)μm
・分解能 ： 30nm
・観察像 ： 2次電子像
・観察モード ： 高真空
・表示分解能 ： 640(H)×480(V)観察時、1280(H)×960(V)撮影時
・画像保存形式： BMP、TIFF、JPG
・加速電圧 ： 0.5～20kV
・自動調整機能：光軸、フォーカス、非点収差、コントラスト/明るさ、フルオート
・最大試料サイズ： φ64mm
・試料ステージ ： X、Y32mm、Z8～30mm、回転360°、傾斜-10～90°
・電源 ： AC100V±10％、50/60Hz
・外寸法 ： W395×D650×H980mm、ロータリーポンプW5