VPC-051A 小型高真空排気装置 到達圧力:7.0×10-4Pa メインポンプ:油拡散ポンプ(空冷) 50 L/sec 補助ポンプ:油回転真空ポンプ 20 L/min 吸気口:VG-25 ULVAC/アルバック \310,000(税抜き)