キーエンス
SEM リアルサーフェスビュー顕微鏡 VE-9800（15〜100,000 倍）
http://file.yizimg.com/339523/2016511-22640738.pdf
販売価格：950,000円(税抜,送料別途)
構成(付属品)：
・制御パソコン
・コンソール
・ロータリーポンプ
・取扱説明書
・消耗品（フィラメント付属1本）
・計測ソフトインストール済（CD付属）
・モニタ
・マウス
※真空引き確認、ステージ動作、SEM像確認済み
仕様：
・倍率 ： 15～100,000倍（条件により異なる）
・観察範囲 ： 9(H)×7(V)mm～1.3(H)×1(V)μm
・分解能 ： 8nm
・観察像 ： 2次電子像
・観察モード ： 高真空
・表示分解能 ： 640(H)×480(V)観察時、1280(H)×960(V)撮影時
・画像保存形式： TIFF、JPG
・加速電圧 ： 0.5～20kV
・自動調整機能：光軸、フォーカス、非点収差、コントラスト/明るさ、フルオート
・最大試料サイズ： φ64mm
・試料ステージ ： X・Y:32mm,Z:8～30mm,回転:360°,傾斜-10～90°
・電源 ： AC90～110V 50/60Hz
・外寸法 ： W395×D670×H957mm
・本体質量 ： 約125kg
